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低温真空泵

来源:默认部门     作者:16所站点管理员     发布时间:2016年04月30日     浏览次数:         

  产品介绍:

低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
产品特点:
1、极高真空度,本系列低温泵均可达到10-7 Pa的极高真空度,最高可达10-9 Pa极限真空度。 2无油无污染,利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空 。 3气体抽速大,气体抽速大,排气速度快。 4运行费用低,只需电力和冷却水保障,无需液氮等低温液体,操作简单,性价比高。 5可靠性高, 无运动部件,低速运行,寿命长;外界干扰和系统内微粒不影响低温泵工作。 6安装友好,可以安装在任何方位。 应用领域:
适合应用于希望获得10-1Pa至10-9Pa真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合,例如:真空排气设备、溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、公海游戏大厅手机版束设备、空间模拟装置、高能物理研究装置、加速器束流管、表面分析装置、其它高真空或超高真空装置  

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